Ďalší typ dráhových detektorov je založený na polovodičoch. Ak nabitá častica prejde polovodičom, vytvorí sa v ňom pár elektrón-diera. Aplikovaním elektrického poľa na polovodič dôjde k separácií elektrónu a diery. Následne sú (elektróny a diery) zozbierané na elektródach, čím sa získava merateľný signál.

Najväčšou výhodou polovodičových detektorov je ich veľka presnosť; sú schopné registrovať polohu častice s presnosťou 10 µm. Medzi nevýhody patrí ich citlivosť na radiačnú záťaž a nákladná výroba.

Polovodičové detektory sú lokalizované najbližšie k bodu zrážky zväzkov, pred vláknovými komorami. Týmto umiestnením sa využije ich vysoká presnosť na lokalizovanie dráhy častice. Jednou z aplikácii je štúdium krátko zíjúcich častíc.